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    硅碳棒進行切片加工具有以下優點

      游離砂漿多線線鋸技術廣泛應用于半導體材料的切割,它是將一根或多股鋼線通過張力控制裝置纏繞在線輪上,在水平方向形成切割線網。在主動輪的帶動下,鋼線以約1000 mm/min的速度進行往復運動,含有SiC顆粒的磨粒在切削液的作用下帶入切割區域,通過SiC顆粒的滾壓釬入作用對硅碳棒進行切割,如圖2-1所示。在鋼線分段間歇式往復運動過程中,噴嘴持續向加工室內切割線網噴射混有懸浮碳化硅顆粒的研磨漿。
        經開方和切方工序后的標準硅碳棒固定于切割臺上,根據加工設備結構的不同,通常一次1-4根,固定著硅碳棒的切割臺在垂直方面通過直線運動經過切割烤網.硅襪存鱺烤和令右c;甄輸的切削病作田下字戍切片1寸程鄉濃富秒縮實線線鋸需要精確控制多線切割鋼線的直徑、鋼線走線速度、切割臺進給速度以及總的切割面積,在硅片不產生破碎和裂紋的情況下盡可能縮短切割時間,經多線線鋸得到厚度一致的光伏硅片。
        固結金剛石磨粒多線線鋸技術采用電鍍工藝將金剛石磨粒固定在鋼線上對硅碳棒進行切割,它避免了游離砂漿中因sic磨粒過大自由度造成磨粒劃過硅片表面時出現裂紋、產生殘余應力和翹曲變形。金剛石線的直徑通常有0.18 mm,0.14 mm和0.09 mm等,它們在多線線鋸加工室中形成的線網如圖2-2所示。
        與游離砂漿多線線鋸技術相比,采用固結金剛石顆粒多線線鋸技術對硅碳棒進行切片加工具有以下優點:
        (1)切片尺寸更大。避免了采用外圓切割和內圓切割而受到加工硅片尺寸的限制,切片尺寸范圍更寬。
        (2)切縫更窄。金剛石線采用高強度鍍銅鋼絲作為母線,母線線徑較小,可制成直徑1 mm以下的多種鋸絲,作者所在課題組進行線鋸實驗使用的是日本高鳥公司生產的金剛石線,它采用直徑為0.11士0.01 mm的鍍銅鋼絲作為基體,通過電鍍或樹脂結合工藝得到平均直徑為0.14士0.01 mm的金剛石線,金剛石線線鋸硅碳棒時實際切縫損失僅僅約為0.17 mm。
        (3)切割效率更高,在高速切割時更平穩。金剛石磨粒固結在鋼線上,而不是游離在砂漿中,避免出現磨料難以進入長深切縫等問題,與游離砂漿多線線鋸技術相比,固結金剛石磨粒多線線鋸技術在切片過程中走線速度更快,切割效率更高。此外,相對于內圓切片徑向承受加工反力容易產生崩片等加工缺陷而言,固結金剛石磨粒多線線鋸采用高強度金剛石線作為刃具,切割過程相對穩定。
        (4)可切割材料的硬度更高。對碳化硅、陶瓷等高硬度材料進行切割時,固結金剛石磨粒多線切割技術克服了內圓切片和游離磨料切割過程中刀具容易急劇磨損的不足,在分段往復式走線過程中切割能力更強。
        近十年來,在硅碳棒、藍寶石等脆硬材料切割領域,固結金剛石多線線鋸逐步取代傳統的游離砂漿多線切割、內圓切割和外圓切割方式,成為脆硬材料切割工藝中最先進的加工技術。在新興的光伏行業切片工藝設備領域,大部分國內加工設備基本被瑞士的HCT, MeyerBurger(梅耶博格)和日本的NTC所壟斷。近年來國內生產設備廠家,如設備制造商陸續開發出了多線切割機樣機。從樣機切割原理和技術設計來看,主要是借鑒了日本的NTC-MWM442D的設計,屬于小型切割設備。國產多線線鋸設備基本都存在著成品率低(出片率為主要參考指標)、斷線率高、控制精度差等的不足。由于近年來硅原料價格持續上漲,工廠引進新設備的成本又很高,每次停機損失可能動輒幾萬甚至幾十萬,這些因素制約了生產設備供應商難于通過獲得生產性試驗數據來改進設備。www.staciesmadness.com

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