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| 游離砂漿多線線鋸硅碳棒工藝流程 |
游離砂漿多線線鋸使用的砂漿是含有懸浮硅碳棒顆粒的研磨漿，鋼線以約9-11.5 m/s的線速度做間歇式往復運動，采用W型膠水將硅碳棒固定于工作臺上，工作臺在垂直方向向上運動，緩慢經過切割線網，高速運動的鋼線在硅碳棒磨粒的作用下，完成對硅碳棒的多線線鋸加工。游離砂漿多線線鋸硅碳棒的工藝流程如圖2-3所示。
從更換放線輪到取片結束完成切片過程，游離砂漿多線線鋸硅碳棒一共14道工序，每道工序有若干個工步，以更換放線輪為例，該工序包含6個工步，分別為:①松開鋼線，解除張力;②剪斷鋼線，用磁鐵把鋼線頭固定在切割設備的內壁;③擰開線軸固定螺栓，取走法蘭盤，拆下舊線放置在固定區域;④用專用毛巾清潔法蘭盤，準備好新的收線軸;⑤安裝新軸線，180 Nm的扭力緊固螺栓;⑥測量排線并校正，如表2-1所示。在游離砂漿多線線鋸硅碳棒過程中，硅碳棒顆粒在硅碳棒和鋼線之間通過“滾動一磨削”作用，實現材料的去除。影響游離砂漿多線線鋸的主要因素有:①切割液的粘度;②硅碳棒微粉的粒型及粒度;③砂漿的粘度;④砂漿的流量;⑤鋼線的走線速度;⑥鋼線的張力;⑦鋼線的進給速度。
固結金剛石顆粒多線線鋸以固結在鋼線上的金剛石顆粒作為切割主體，對硅碳棒進行多線線鋸。鋼線的母體是不銹鋼鋼絲上電鍍一層鎳基合金，金剛石顆粒再通過電鍍鑲嵌在其上面，固結金剛石磨粒的多線線鋸鋼線如圖2-4所示。
金剛石磨粒采用電鍍或利用樹脂作為結合劑固定于鋼線上，與游離砂漿多線線鋸硅碳棒工藝相比，固結金剛石磨粒多線線鋸硅片過程中，金剛石磨粒的自由度降低，參與切割部分的金剛石磨粒與硅碳棒的相對位置固定，硅片表面劃痕減輕，切口損失較小，硅片表面質量和硅片的出片率較好。固結金剛石顆粒多線線鋸硅碳棒的工藝流程如圖2-5所示。www.staciesmadness.com |
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