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| 硅碳棒多線線鋸工藝參數范圍的確定 |
在固結金剛石磨粒多線硅碳棒工藝中，線鋸過程被認為是大量金剛石磨粒與工件之間通過擠壓變形和摩擦作用將材料去除。圖5-3為固結金剛石磨粒線鋸光伏硅碳棒的示意圖，其中，線鋸運動速度為代，方向垂直于坐標系XOY水平向外，工件運動速度為Y，方向沿Y軸正方向。
對A點處的單顆金剛石磨粒進行受力分析，其受力分析圖如圖5-4所示。其中，Fnc為法向切削力，Fn、為法向摩擦力，Ft為切向切削力，Ft,為切向摩擦力，則作用在單顆磨粒上的鋸切力為:
在固結金剛石磨粒線鋸光伏硅碳棒過程中，設光伏硅碳棒的長度為L，則角度d9對應的線鋸與工件的接觸面積dA為:在上對其進行積分，貝。線鋸光伏硅碳棒的線鋸力為:
因此，該線鋸鋸切力是一個與線鋸運動速度Ys、工件進給速度VW、線鋸半徑R及光伏硅碳棒長度L有關的一個函數。系數K,, Kz主要取決于線鋸、工件材料以及線鋸與工件的潤滑情況等。
多線線鋸工藝是一個與線鋸設備、金剛石線磨粒分布及粒度、金剛石線直徑、金剛石線的振動頻率及振幅、關鍵工藝參數(鋼線張力、鋼線走線速度、硅碳棒進給速度等)等加工要素相關的加工過程。由于論文的研究基于課題組開發的JKEDM-500超薄金剛線硅片切割設備，在多線線鋸設備及金剛石線已經確定的情況下，影響多線線鋸過程的主要包括鋼線張力、鋼線走線速度、硅碳棒進給速度等關鍵線鋸工藝參數。KEDM-500超薄金剛線硅片切割設備工藝參數輸。
在固結金剛石顆粒多線硅碳棒過程中，為保證切片工序順利完成，要求鋼線張力恒定或在一個較小范圍內浮動，在機械設計中通常用重力輪或張力輪來控制，JKEDM-500超薄金剛線硅片切割機設置1套收線系統、1套放線系統、1組槽輪，收放線系統合計16個滑輪，如圖5-6所示。www.staciesmadness.com |
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