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    硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價
      在試驗數據進行方差分析和顯著性檢驗之前,需要將試驗數據輸入到軟件Design-Expert 12中,如圖5-12所示,硅碳棒多線線鋸Design Layout中試驗組合及響應值。在軟件Design-Expert 12中設置Source分別為Linear, 2FI、Quadratic和Cubic,通過Fit Summary結果可知,Quadratic為最佳擬合結果,不需要引入更高次。
      硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y響應模型方差分析如圖5-13所示,其通過F檢驗得到的顯著性概率P值小于0.0001,顯著。另外,模型失擬項P值為0.0650,大于0.05,此結果表明試驗結果和數學模型擬合結果良好,試驗結果可使用該數學模型來進行推測。由三因素的顯著性概率:鋼線走線速度y<鋼線張力x<硅碳棒進給速度zG 0.05,說明在硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值中,鋼線走線速度Y的影響最大,硅碳棒進給速度z的影響較小,鋼線張力x介于鋼線走線速度Y和硅碳棒進給速度:之間。由于三因素的顯著性概率P值均遠小于0.05,說明鋼線張力x、鋼線走線速度Y和硅碳棒進給速度z對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y都呈現高度顯著,并且都對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y有很大的影響。
      以上分析說明了該數學模型可以很好地對試驗數據進行非線性擬合和用來在工藝參數連續范圍內進行推測和尋求最優解。在軟件Design-Expert 12中,采用Coded Equation得到最后近似的非線性方程,如圖5-14所示。
      因此,通過RSM試驗,在17組試驗數據的基礎上,經方差分析和顯著性檢驗,得到最能反映目標值(硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y)與輸入工藝參數組合(鋼線張力x、鋼線走線速度Y和硅碳棒進給速度:)之間的回歸模型,該函數關系如公式(5-19 )所示。多線線鋸工藝參數對評價值的影響分析
      對硅碳棒多線線鋸硅碳棒進行綠色工藝評價分析,研究工藝參數鋼線張力x、鋼線走線速度Y、硅碳棒進給速度z對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y的影響。首先分析了單因素輸入對評價值Y的影響。
      在鋼線走線速度和硅碳棒進給速度為常數(以下分析取y=1000 m/min,z=1.05 mm/min)的情況下,鋼線張力x介于18.0000-27.8501 N之間,硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y隨鋼線張力x增大而增大;鋼線張力x介于27.8501一35.0000 N之間,硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y隨著鋼線張力x增大而減小,如圖5-15所示。分析圖5-15中曲面的變化趨勢,鋼線張力x在閡值27.8501 N以下,線鋸硅碳棒過程中容易導致線鋸力不夠,容易造成硅片表面質量下降,影響評價指標出片率Cjl和單位產品總的生產成本CI;對其它評價指標硅片厚度Cj2、硅片單片耗硅量r、每千片硅片生產耗費的時間l1、能源利用效率m、廢水排放量e ,COD排放量e:和用戶滿意度si影響較小。www.staciesmadness.com
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