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    關鍵工藝參數對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值的影響

      硅碳棒多線線鋸工藝的綠色度Y隨硅碳棒進給速度:在0.7500-1.0895 mm/min之間增大的趨勢較硅碳棒進給速度z在1.0895^1.35 mm/min之間減少趨勢陡峭,主要原因在于當硅碳棒進給速度z越過閡值1.0895 mm/min后,線鋸硅碳棒造成硅片表面溫度過高,導致對評價值Y的影響程度低于之前由于硅碳棒進給速度z在0.7500-1.0895 mm/min之間增加的影響程度。
      以上是在其它二種關鍵工藝參數固定的情況下,另外一種關鍵工藝參數對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值的影響情況,下面分析在其中一種關鍵工藝參數固定的情況下,另外二種關鍵工藝參數對綠色工藝評價值的影響情況。
      在硅碳棒進給速度z為常數(以下分析取z=1.05 mm/min)的情況下,鋼線張力x和鋼線走線速度Y對硅碳棒多線線鋸評價值的影響如圖5-18所示。曲面最低點出現在x=18 N, y=800 m/min位置,可以通過軟件捕捉該點,或者將x=18N, y=800 m/min,  z=1.05 mm/min帶入公式(5-19 ),通過計算得到硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y。隨著鋼線張力x和鋼線走線速度Y的增加,硅碳棒多線線鋸評價值Y也隨之增大,它們之間的變化規律及對評價值Y的影響如圖5-19所示。
      依據圖5-18所顯示曲面,當硅碳棒進給速度設定為1.05 mm/min,硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y出現在曲面的最高點,為0.8274。當硅碳棒進給速度設定為其它值時,曲面頂點同時也會出現變化。也就是說,硅碳棒多線線鋸最大評價值不一定會出現在17組試驗數據中,這就是響應曲面法能通過曲面擬合建立數學模型解決期望值預測與求解的原因。在鋼線走線速度為常數(以下分析取y=1000 m/min)的情況下,鋼線張力x和硅碳棒進給速度z對硅碳棒多線線鋸評價值的影響如圖5-20所示。
      圖5-20所顯示曲面的最低點出現在x=18 N, z=0.75 mm/min位置,可以通過軟件捕捉該點,或者將x=18 N,y=1000 m/min,z=0.75 mm/min帶入公式(5-19),計算得到硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y。隨著鋼線張力x和硅碳棒進給速度z的增加,硅碳棒多線線鋸評價值也隨之增大,它們之間的變化規律及對評價值Y的影響如圖5-21所示。
      在鋼線張力為常數(以下分析取x=26.5 N)的情況下,鋼線走線速度Y和硅碳棒進給速度:對硅碳棒多線線鋸評價值的影響如圖5-22所示。曲面最低點出現在y=800 m/min, z=0.75 mm/min位置,同樣可以通過軟件Design-Expert 12捕捉該點或者將x=26.5 N, y=800 m/min, z=0.75 mm/min帶入公式(5-17),計算得到硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價值Y。隨著鋼線張力x和硅碳棒進給速度z的增加,硅碳棒多線線鋸評價值也隨之增大,它們之間的變化規律及對評價值Y的影響如圖5-23所示,綠色工藝評價最大值位于圖示中心偏左下位置。www.staciesmadness.com

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