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| 硅碳棒評價方法的適用范圍使用原則和評價流程 |
根據硅碳棒評價方法的適用范圍、使用原則和評價流程，以硅碳棒多線線鋸工藝為評價對象，按照綠色制造目標屬性質量、成本、時間、資源、能源、環境和社會因素包含的內容，首先分析了采用層次分析法(AHP)和嫡值法確定評價指標各項權重系數的確定方法。然后采用基于層次分析法和模糊綜合評判法的組合評價方法，以QES(質量、環境和社會因素)為工藝評價目標，對型號JK-XJ-02D 1-JK-XJ-02D5硅片的線鋸工藝過程進行了綜合評價，結果顯示硅片型號為JK-XJ-02D3的線鋸工藝評價最好，評價值為0.7135。另外，采用基于嫡值法和理想點法的組合評價方法，以(QTCRNES，質量、時間、成本、資源、能源、環境和社會因素)為工藝評價目標，對型號JKEDW-156-1#一JKEDW-156-9#硅片的線鋸工藝過程進行了綜合評價，結果顯示硅片型號為JKEDW-156-4#的線鋸工藝評價最好，評價值為0.7222。
在多線線鋸設備和金剛石線等工藝要素相同的情況，為了從理論上證明硅碳棒多線線鋸工藝過程及綠色工藝評價受關鍵工藝參數影響，論文建立了固結金剛石顆粒多線線鋸硅碳棒的力學模型，經分析模型認為金剛石磨粒均勻分布在鋼線表面，形狀近似圓錐體。結果證明硅碳棒多線線鋸時鋸切過程(力)與鋼線走線速度代·工件進給速度氣·線鋸半徑R及光伏硅碳棒長度L等因素相關。
借鑒國內外同類多線線鋸設備的技術參數，結合自主開發JKEDM-500多線線鋸設備的特點，分析得到多線線鋸關鍵工藝參數一一鋼線張力、鋼線走線速度和硅碳棒進給速度的取值范圍。利用田口實驗分析法幾5(56Lzs5)的設計進行正交試驗，得到17組在不同多線線鋸關鍵工藝參數組合下對應的綠色工藝評價值，其中最大綠色工藝評價值及其對應的關鍵工藝參數即為試驗中的最好結果。由于試驗方案次數有限，關鍵工藝參數為離散數據，為了求解在關鍵工藝參數鋼線張力F,鋼線走線速度VS和硅碳棒進給速度VW連續取值范圍內的綠色工藝評價最大值，因此建立多元非線性方程擬合綠色工藝評價值與關鍵工藝參數之間的關系，經方差檢驗和一致性分析，得到最佳擬合函數。通過Design-Expert 12進行多元非線性方程求最優解，即可在硅碳棒多線線鋸關鍵工藝參數連續取值范圍內獲綠色工藝評價最大值及對應的工藝參數。結果證明:采用JKEDM-500多線線鋸設備對156 X 156 X 500多晶硅碳棒進行多線線鋸，當鋼線張力為28.521 N、鋼線走線速度為1072.615 m/min、硅碳棒進給速度為1.028 mm/min時，該線鋸工藝“綠色度”最好，評價值為0.802。采用Design-Expert 12對綠色工藝評價值與關鍵線鋸關鍵工藝參數進行了數據擬合，對擬合曲面進行研究，分析了單一關鍵工藝參數和雙重關鍵工藝參數組合對硅碳棒多線線鋸綠色工藝評價的影響。www.staciesmadness.com |
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